FT-3110B全自動四探針測試儀

價格

電議

型號

FT-3110B

品牌

瑞柯微

所在地

暫無

更新時間

2025-09-15 10:20:23

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FT-3110B全自動四探針測試儀，采用四點探針法、全自動化運行測量系統(tǒng)。使用PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理、符合ASTM方法，儀器自動正/負電流輸出，自動正/負電壓測量。

功能介紹Function Introduction

四點探針法、全自動化運行測量系統(tǒng)

PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理、ASTM方法

自動正/負電流輸出，自動正/負電壓測量

FT-3110B全自動四探針測試儀

測量電阻率、方塊電阻、厚度

可調探針壓力、測試點數(shù)、多種模式

顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值

提供標準校準電阻件、數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析

適用范圍Scope of application

晶圓、非晶硅/微晶硅和半導體襯底電阻率測量；選擇性發(fā)射極擴散片；

表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；*電極設計，如電鍍銅電阻測量等；

FT-3110B全自動四探針測試儀

規(guī)格型號	FT-3110B（可擴展）
1.方塊電阻	10^-6～2×10^5Ω/□
2.電阻率	10-7～2×106Ω-cm
3.測試電流	1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
4.電阻精度	≤0.3%（標準電阻）
5.PC軟件操作	PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、2D、3D圖譜、報表生成等
6.壓力范圍	探針壓力可調范圍：100-500g
7.探針	鎢鋼材質，探針間距1mm；機械游移率：≤0.3%；其他規(guī)格可定制
8.載臺類型及尺寸選購	選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內定制規(guī)格
9.分析模式	單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試
10.重復性	單點重復性：重復性≤0.5%
11.防護功能	具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報
12.電源	輸入: AC 220V±10%.50Hz，功耗：<600W