EBARA荏原干式真空泵通過機械運動直接壓縮和排出氣體，無需液體介質，避免油污染問題。其核心結構類型包括：

EBARA荏原螺桿式雙螺桿結構：一對等速反向旋轉的螺桿轉子，通過阿基米德螺旋線與擺線輪廓設計形成密閉腔體，實現氣體的連續(xù)吸入與排出?13。

間隙控制：螺桿與泵腔保持微米級間隙，減少摩擦損耗，支持高轉速運轉（可達6000 rpm），提升抽氣效率。

?多級羅茨式??多級串聯(lián)設計?：采用多級羅茨葉片轉子，通過逐級壓縮提高極限真空度（可達10?2 Pa），適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環(huán)境?56。

?無接觸嚙合?：轉子間無物理接觸，通過同步齒輪驅動，降低磨損并延長使用壽命。

渦旋式動靜渦旋盤嚙合：通過漸開線型渦旋盤形成連續(xù)壓縮腔，實現無油、低振動運行，極限真空度達10?1 Pa，適用于實驗室和小型設備。